Poznavanje elektrostatske zaštite u poluvodičkom sektoru
Osnovna znanja o prevenciji statičke električne energije u poluvodička industrija:
Metoda statičke generacije elektriciteta: kontakt-razdvajanje; trenje; ljuštenje; dirigovanje.
Prvo sigurnost: Da li anti-statičke mjere u sukobu sa sigurnosnim mjerama.
Mjere zaštite: uzemljenost-ekvipotentna veza; kontrola statičke snage; anti-statička ambalaža.
Ključne tačke zabrinutosti: zahtjevi elektrostatske osjetljivosti proizvoda; poklapanje standarda zaštite; verifikaciju u skladu sa saučesnosti.
Kada koristiti metalne materijale i kada koristiti statičke disipativne materijale?
metalni materijal :
1. Metalni materijali mogu se koristiti direktno kada je proizvod u jednakom potencijalu.
2. Metalni materijali se mogu koristiti kada jedan proizvod neće direktno kontaktirati s metalnim materijalima.
Zbog cijelog okvira za obradu proizvoda, waferi koriste ne-statički film, a neka oprema ne može biti opremljena ionski ventilatorom. Statički elektricitet će se akumulirati tokom procesa. Osim instalacije ionog ventilatora, odabrat ćemo neke brze provodne materijale kako bi statički elektricitet brzo vodili dalje.
Da li je u redu ako se koriste statički disipativni materijali?
Da, ali statički elektricitet se vrlo sporo rasipa, postoji opasnost od nakupljanja statičke struje, a pražnjenje će se pojaviti tokom reznja, što predstavlja veliki rizik od ESD oštećenja proizvoda.
Elektrostatički materijal: Nakon rezanja i odvajanja jednog proizvoda, špedicionih i ambalažnih proizvoda, mogu se koristiti elektrostatički materijali.
Koji su rizici korištenja pogrešnih materijala?
Budući da su proizvodi nakon rezanja i odvajanja osjetljiviji i slabiji u antistatičkom sposobnošću, ako se koriste metalni materijali, oni će prouzrokovati OŠTEĆENJE ESD-a na proizvodu zbog prebrze provodljivosti (zbog brzog pražnjenja nakon direktnog kontakta s proizvodom), a korištenje elektrostatičkog materijala ograničiti će pritisak. Smanjite rizik od OŠTEĆENJA ESD-a na proizvodu nakon kontakta s proizvodom.
Mjere elektrostatske zaštite u industriji poluvodiča
Uzemljenost-ekvipotentijalna veza: kondukter u kontaktu sa osjetljivim uređajem realizovao je ekvipotentnu vezu kako bi se izbjeglo pražnjenje zbog statičke struje na provodniku.
Statička kontrola snage: Statički elektricitet izolacijskog materijala ne može se eliminirati putem uzemljavanja i ekvipotentnog povezivanja, tako da statička kontrola snage mora biti izvršena oko osjetljivih uređaja.
Anti-statička ambalaža: Uređaji koji se otpuštaju iz esd zaštitnog područja moraju koristiti antistatička ambalaža kako bi spriječili utjecaj vanjskog statičke struje.
Jezgro statičke zaštite je statička eliminacija: spriječiti nakupljanje statičke struje gdje se može pojaviti statički elektricitet. Uzimamo ga da generišemo i otpustim statički elektricitet. I kontroliraj elektrostatički napon u sigurnom dometu. Eliminišite postojeću statičnu akumulaciju elektriciteta i oslobodite ga na vrijeme.