Osnovne ideje i tehnički pristupi elektrostatičkoj zaštiti
Elektrostatičko pražnjenje može prouzrokovati oštećenje uređaja, ali poduzimanjem odgovarajućih i odgovarajućih ESD zaštitnih i kontrolnih mjera za uspostavu ESD sustava, ESD se može eliminirati ili kontrolirati kako bi se smanjila šteta na komponentama. Postoje dve osnovne ideje za elektrostatičku zaštitu i kontrolu osetljivih uređaja:
1. (1) Spriječiti nakupljanje statičkog elektriciteta na mjestima gdje se može dogoditi uzemljenje, i poduzeti određene mjere kako bi se izbjeglo ili smanjilo pojavljivanje elektrostatičkog pražnjenja, ili usvojiti metodu "propuštanja za vrijeme proizvodnje" kako bi se eliminiralo nakupljanje električnog naboja . Naknada se kontrolira do te mjere da ne nanosi štetu.
1. (2) Brzo i pouzdano akumulirajte akumulirano punjenje.
2.1 Metod kontrole procesa
Dizajniran da proizvede što je moguće manje statičkog naboja tokom proizvodnog procesa. U tu svrhu, preuzimaju se mjere iz aspekata toka procesa, odabira materijala, instalacije opreme i upravljanja radom kako bi se kontrolisala proizvodnja i akumulacija statičkog elektriciteta, te kako bi se suzbio elektrostatski potencijal i sposobnost elektrostatičkog pražnjenja da ne pređe stupanj oštećenje. Kao iu procesu proizvodnje poluprovodnika, otpornost deionizirane vode za ispiranje mora se kontrolirati nakon završetka procesa formiranja plitkog spoja uređaja velike brzine. Iako je veći otpor, bolji je efekat čišćenja, ali što je veći otpor, to je veći statički elektricitet generisan na čipu. Stoga se općenito kontrolira na razini nešto višoj od 8 MΩ, i ne može biti 16-17 M za početni proces. Osim toga, pri izboru materijala, materijali za pakiranje trebaju koristiti antistatičke materijale, pokušati izbjeći neobrađene polimerne materijale.
2.2 Metoda curenja
Namijenjen je uklanjanju statičkog elektriciteta kroz curenje. Obično je elektrostatičko uzemljenje propuštanje električnog naboja u zemlju; postoji i metoda povećanja električne provodljivosti objekta kako bi se uzrokovalo curenje tla duž površine ili unutar objekta, kao što je dodavanje elektrostatičkog sredstva ili povećanje vlažnosti. Najčešći je antistatički remen za ručni zglob, koji nose osoblje i statički stub za uzemljenje.
2.3 Metoda elektrostatske zaštite
Prema principu elektrostatskog oklopa, može se podijeliti u dva tipa: unutarnje zaštitno polje i vanjsko zaštitno polje. Specifična mjera je izolirati napunjeno tijelo od drugih objekata s uzemljenim poklopcem ekrana, tako da električno polje napunjenog tijela neće utjecati na druge okolne objekte (unutarnja zaštita polja); ponekad se oklopljeni poklopac koristi za okruženje izoliranog objekta, tako da je zaštićen od vanjskih električnih polja (zaštita od vanjskog polja). Na primjer, paket uređaja GaAs koristi metalni kovčeg ili metalni film.
2.4 Metoda neutralizacije jedinjenja
On ima za cilj eliminaciju statičkog naboja pomoću kompleksne neutralizacije. Upotreba eliminatora za uzemljenje za proizvodnju kompleksa sa nabijenim ionom na napunjenom tijelu kako bi se postigla neutralizacija. Uopšteno govoreći, kada je napunjeno telo izolator, pošto električni naboj ne može da teče na izolatoru, metoda uzemljenja se ne može koristiti za curenje električnog naboja. U ovom slučaju, antistatički eliminator se mora koristiti za generisanje različitog jona za neutralizaciju. Ova metoda se koristi za uklanjanje elektrostatičkog naboja koji se stvara na transportnoj traci.
2.5 Čiste mjere
Dizajniran za izbjegavanje isprekidanih pražnjenja. U tu svrhu, površina napunjenog tijela i okolnih objekata treba održavati što je moguće glatkijim i čistijim kako bi se smanjila mogućnost isprekidanog pražnjenja.