Šteta od statičkog elektriciteta u čistoj sobi
Poluprovodnici, plosnati displeji, optoelektronika i druge čiste sobe, uprkos velikom radu, elektrostatički problemi u čistoj sobi i dalje utiču na sigurnost proizvodnje i prinos proizvoda, utičući na troškove proizvodnje i koristi, utičući na kvalitet i pouzdanost proizvoda.
1. Elektrostatička kulonska sila
Pod dejstvom elektrostatske Coulombove sile, adsorbovana prašina i prljavština prouzrokuju curenje komponenti ili stvaranje kratkog spoja, što umanjuje performanse i uveliko smanjuje prinos i pouzdanost. Ako je veličina čestica prašine> 100 μm, širina aluminijske žice je oko 100 μm, a debljina oksidnog filma je 50 μm, proizvod je najvjerojatnije otpisan. Sada je promjer žice finiji, oksidni film je vrlo tanak, a čestice prašine male veličine čestica će oštetiti komponente. To se uglavnom događa u procesima korozijskog čišćenja, fotolitografije, točkastog zavarivanja i pakovanja.
2, elektrostatičko pražnjenje ESD
(1) Izolirajući oksidni sloj komponente je pokvaren, a olovo pregorio ili je puhana linija. Ako ljudsko tijelo nosi 10KV (100PF) statičkog naboja, ESD se javlja kada se uređaj dodirne, a pik pulsne struje do 20A (10 ~ 100s) može se trenutno formirati na zemlju, da ne spominjemo visoku gustoću, finu promjer žice, tanak SiO2 film. Lsi, Vlsi, je opšta IC, MOS će pretrpeti štetu.
Generalno govoreći, otpornost naponskog polja na izolacionoj kapiji SiO2 folije uređaja je E = (5-10) × 106V / cm. Ako je debljina filma uređaja SiO2 1000, statički napon od 50V-100V ili više će biti pogođen kada se primijeni ulazni pin uređaja. Nošenje i tijelo sa statičkim elektricitetom većim od 50V, 100V je vrlo uobičajeno.
(2) izazivanje buke i emitovanje elektromagnetnih smetnji
ESD uzrokuje oštar pik EMI prije i poslije elektromagnetskog vala, a signal je jak, što je ekvivalentno nekoliko volti energije u krugu. Frekvencija obuhvata nekoliko MH2 ili stotine MH2 jakog šuma, što može prouzrokovati oštećenje komponenti, oprema i senzori ne rade ispravno, ili čak uzrokovati da se uređaj srušio.
EMI uzrokovan ESD-om također uzrokuje ulaz signala greške ili fenomena zatvaranja. U čistoj prostoriji, EMIF kutija vafla postavljena je na čeličnu kolica, a ESD vafla se prenosi do kolica kroz induktor. Točak je izolovan, a difuzija EMI-ja uzrokuje pad rukovaoca.
(3) Električni udar na ljudsko tijelo
Kada ESD ljudskog tela ili ESD ljudskog tela prelaze struju električnog šoka ljudskog tela od 5 mA ili više, ljudi će imati različita osećanja povrede, uzrokujući emocionalnu anksioznost i operativne greške osoblja.
Čiste prostorije kao što su poluvodiči, plosnati displeji i optoelektronika su učinile mnogo posla, ali statički problemi u čistim sobama i dalje utiču na sigurnost proizvodnje i prinos proizvoda, utičući na proizvodne troškove i koristi, i utičući na kvalitet i pouzdanost proizvoda. Prema riječima stranih industrijskih stručnjaka, godišnji gubitak proizvoda zbog statičkog elektriciteta u Sjedinjenim Državama u prosjeku iznosi 8-33%. Neki ljudi procjenjuju da godišnja šteta za elektronsku industriju u Sjedinjenim Državama vrijedi 10 milijardi američkih dolara. Tokom 1980-ih, Japan je analizirao ukinute elektronske proizvode. Gubitak uzrokovan ESD-om iznosi 1/3. Kineski poluprovodnici, plosnati displeji sa tečnim kristalima, optoelektronika, itd. Počeli su da kasne, ali elektrostatički rizici se takođe javljaju s vremena na vreme, a prinos je nizak. Banke, kompanije koje se bave hartijama od vrednosti, poverljive baze podataka, centri za praćenje, prostorije za dispečiranje struje, itd., Ako dođe do ESD-a, lako je izazvati smetnje, a podaci su izgubljeni, situacija je još ozbiljnija.